平台概述
一、产业领域
平台聚焦于先进半导体产业,以后摩尔时代半导体关键装备与工艺为核心,进行下一代芯片技术的前沿颠覆性创新研发和布局,重点围绕芯片异构集成、微纳光电器件制备等前沿技术方向,致力于攻克大尺寸立方相碳化硅制造技术、碳化硅聚焦环/边缘环技术、超高精度光学模块研发等核心技术难题,构建相关产业技术壁垒,提升我国在电子信息领域的自主创新能力和核心竞争力。
二、现有基础
平台依托甬江实验室半导体装备方向的科研实力、宁波知识产权保护中心基于科技情报的创新辅助能力、浙江大学技术转移中心以转化为导向的创新规划能力、杭州金船、华进联浙等专利挖掘布局的专业服务能力、盈创孵化器的产业孵化能力,形成一支学科交叉、经验丰富、专业能力强的多元化人才团队,构建一套“研知转服用”五维融合的创新服务模式,为平台建设和后期发展提供强有力支撑。
三、战略意义
建设半导体关键装备与工艺高价值专利培育平台,通过前沿技术攻关、高价值专利培育布局、科技成果转化应用等,打造多维度、高水平、全链条的前沿交叉创新平台,建立后摩尔时代先进芯片制备的中国赛道,破局我国芯片技术长期受制于人的困境。平台将为半导体关键装备与工艺从需求链到产业链、从技术链到创新链的实现过程提供一体化解决方案和经验样板,实现知识产权驱动先进半导体领域创新发展。
四、特色思路
整合甬江实验室及参与单位的科研、人才与产业资源,构建产学研用协同创新机制,加强与高校、科研机构和企业的合作,形成一套“前沿技术创新-专利分析布局-科研成果产出-转移转化应用”的特色标准流程做法。
完善信息材料与微纳器件制备平台、材料分析与检测平台等科研设施建设,增强技术研发能力,为高价值专利培育提供技术支撑和验证手段;围绕半导体关键装备与工艺核心与前沿技术开展专利挖掘和布局,制定科学合理的专利战略,提升专利质量和数量;加强知识产权人才队伍建设,培养和引进一批既懂技术又懂知识产权的复合型人才,为平台建设提供人才保障;建立健全专利运营和转化机制,加强与社会资本和投资机构的合作,推动专利技术的产业化应用,实现专利价值最大化。
五、预期成果
争取经两年建设,建成特色化、规范化、实效化的高价值专利培育工作体系;重点围绕大尺寸立方相碳化硅制造技术、碳化硅聚焦环/边缘环技术、超高精度光学模块研发三大主攻方向开展高价值专利培育和布局,形成3个高价值专利组合;推动相关领域发明专利实施运用率不低于35%,推动半导体产业创新发展。
六、主要举措
常态化开展半导体关键装备与工艺高价值专利培育工作,成立由甬江实验室牵头,联合宁波知识产权保护、浙江大学技术转移中心、杭州华进联浙、杭州金船等单位的专项工作组,保障平台顺利运行。
结合人工智能、大数据等先进技术,深入研究技术趋势和市场需求,挖掘高价值专利技术点,构建智能化专利管理、检索分析、成果匹配等辅助系统,覆盖专利技术的全生命周期管理。建立健全高价值专利培育平台制度建设,进一步建立健全高价值专利申请机制、专利评估机制、成果转化实施机制、绩效奖励机制等,确保平台高效运转。加强平台宣传工作,通过开展知识产权培训、学术交流、成果推广会等活动广泛宣传平台创新产出,增强平台辐射能力,更好地服务半导体产业发展。